Новый виток давления: законопроект MATCH
Согласно данным издания NU.nl, правительство США оказывает прямое давление на Нидерланды с целью принуждения ASML к прекращению почти всех поставок оборудования для производства чипов в Китай. Если ранее ограничения касались только передовых систем EUV, то теперь фокус сместился на более старые, но критически важные системы глубокого ультрафиолета (DUV). Инициатива реализуется через двухпартийный законопроект в Конгрессе США под названием Multilateral Alignment of Technology Controls on Hardware (MATCH) Act, который обязывает союзников США внедрить единый технологический запрет на экспорт такого оборудования.
Исторический контекст: от EUV к DUV
Ситуация с литографическим оборудованием в Китае эволюционировала за последние годы. Изначально, еще в 2019 году, под давлением Вашингтона Нидерланды запретили экспорт систем экстремального ультрафиолета (EUV). ASML так и не поставила ни одного сканера EUV в Китай. В последующие годы контроль ужесточился: экспорт DUV-машин стал возможен только при наличии специального национального экспортного разрешения. Теперь же США стремятся закрыть и эту лазейку, что может означать практически полную изоляцию китайского рынка от оборудования ASML.
Ответ Китая: локализация производства
Однако полный запрет может не достичь цели, если он не будет введен мгновенно. Китайские производители уже начали развивать собственные мощности. Компания Shanghai Yuliangsheng Technology в июле 2026 года начала ограниченное производство иммерсионных DUV-литографических машин. Это создает альтернативу западному оборудованию, хотя и с меньшими объемами.
| Параметр | ASML (Нидерланды) | Shanghai Yuliangsheng (Китай) |
|---|---|---|
| Технология | DUV / EUV | Иммерсионная DUV |
| Статус поставок в Китай | Под угрозой полного запрета (MATCH Act) | Начало ограниченного производства (июль 2026) |
| Планируемый объем (2026-2027) | Зависит от решения правительства Нидерландов | 5 систем в 2026, ~20 систем к 2027 году |
| Ключевые клиенты | SMIC, CXMT, Hua Hong (исторически) | SMIC, CXMT, Hua Hong (в очереди) |
Почему это важно для индустрии
Если запрет на экспорт DUV-оборудования будет введен немедленно, китайские полупроводниковые гиганты, такие как SMIC, CXMT и Hua Hong, столкнутся с серьезными проблемами в обслуживании и расширении существующих линий. Однако, если у Китая будет время, локализация производства DUV-машин может привести к достижению самообеспеченности в этом сегменте. Учитывая, что SMIC уже научилась производить чипы по техпроцессу 5 нм (узел N+3) без использования EUV, доступ к иммерсионным DUV-системам остается критически важным для поддержания и масштабирования этих мощностей. Успех Shanghai Yuliangsheng может стать первым шагом к созданию независимой цепочки поставок литографического оборудования в КНР.
Источник: TechPowerUp ↗